# “超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片

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2018年11月30日 · 13:23 · [在花新闻](https://www.zaihua.news/about/)

# “超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片

国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收。该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制，光刻分辨力达到22纳米，结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片

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