# 中国开始量产国产 DUV 光刻机 今年目标生产约 5 台

Source: https://www.zaihua.news/article/42800/

[返回新闻流](https://www.zaihua.news/)
2026年7月27日 · 22:10 · [在花新闻](https://www.zaihua.news/about/)

# 中国开始量产国产 DUV 光刻机 今年目标生产约 5 台

中国已开始大规模生产自主研发的浸没式深紫外（ DUV ）光刻机。知情人士称，上海一家国企正推进量产，计划今年生产约 5 台、2027 年约 20 台，将交付中芯国际、华虹半导体等国内厂商。但该设备在性能和可靠性上仍落后于 ASML ，芯片商需数月甚至更长时间测试其精度与兼容性，方能投入量产产线。

受此消息影响，ASML 股价一度跌超 6%。据悉，国产设备主要使用国产零部件，部分关键部件仍来自日本，且今年本地供应链延误已影响进度。业内认为，国产 DUV 短期内难以对 ASML 构成直接威胁，但产量持续增加可能逐步侵蚀其在中国市场的地位，尤其是在西方若收紧出口限制的情况下。

[The Information](https://www.theinformation.com/articles/china-starts-mass-producing-homegrown-duv-chipmaking-tools-advance-local-chip-industry) | [Reuters](https://www.reuters.com/world/china/china-begins-making-homegrown-duv-chipmaking-tools-information-reports-2026-07-27/) | [Bloomberg](https://www.bloomberg.com/news/articles/2026-07-27/asml-slides-after-report-of-china-beginning-duv-tool-production)

🌸 [在花频道](http://t.me/ZaiHuaPd) · [茶馆水群](https://t.me/zaihuachat) · [投稿通道](http://t.me/ZaiHuabot)

[上一条玉渊谭天：AI模型开放边界引发讨论，业内呼吁建立安全协作机制](https://www.zaihua.news/article/42799/)[下一条三星被曝拟采中国低价 DRAM 芯片 降成本反攻中国市场](https://www.zaihua.news/article/42801/)