# 俄首台 130nm 光刻机原型完成，量产或待 2029 年

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2026年10月5日 · 20:12 · [在花新闻](https://www.zaihua.news/about/)

# 俄首台 130nm 光刻机原型完成，量产或待 2029 年

俄罗斯 Zelenograd 纳米技术中心（ZNTC）完成首台可处理 200 毫米晶圆、130nm 制程光刻机的第三阶段研发，原型机正进行内部测试，距离真正用于晶圆厂量产仍有数年。

该机据称由白俄罗斯 Planar 开发、激光器来自 Lassard，单台成本约 730 万美元。分析认为，其用于商业芯片生产最早约在 2029 年。

[Tom's Hardware](https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/russias-zntc-reportedly-completes-development-of-130nm-capable-litho-tool-volume-production-still-years-away)

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