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光刻机:首台/套国产氟化氪光刻机和氟化氩光刻机开始推广应用?

工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中,包含国产氟化氪光刻机(110nm),和氟化氩光刻机(65nm)的内容。

工业和信息化部装备工业二司

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